精科物光WGL光电轮廓仪(2007BCEIA金奖产品) 光学仪器

型号

wgl

在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4波长的高度突变时：

1000一1nm

相邻二象素之间含有大于1 / 4波长的高度突变时：

130一1nm

测量的重复性：

δra≤0.5nm

物镜倍率:

40x

数值孔径:

φ65

工作距离:

0.5mm

仪器视场 目视:

φ0.25mm

摄象:

0.13×0.13mm

仪器放大倍数 目视:

500×

摄象（计算机屏幕观察）

2500×

接收器测量列阵:

1000x1000

象素尺寸:

5.2×5.2μm

测量时间采样（扫描）时间:

1s

仪器标准镜    反射率（高）:

～50 %

反射率（低）:

～4 %

照明光源:白炽灯

6v 5w

绿色干涉滤光片波长:

λ≒530nm  

半宽度

λ≒10nm